федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

Способ измерения чистоты поверхности подложек

Год: 2007
Авторы: Подлипнов В.В. Колпаков А.И. Казанский Н.Л. Колпаков В.А. Сойфер В.А.
№ патента:
Приоритет заявки: 2007-03-07
Дата публикации: -0001-11-30