федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

Способ изготовления катодной мишени для распыления керамических материалов

Год: 2014
Авторы: Буяльский В.И. Барвинок В.А. Богданович В.И. Докукина И.А. Асмолов А.Н. Еськина Е.В.
№ патента: 026366
Приоритет заявки: 2013-12-27
Дата публикации: 2017-03-31