Способ получения пористого слоя гетероструктуры карбида кремния на подложке кремния

Год: 2016

Авторы: Долгополов М.В. Латухина Н.В. Чепурнов В.И. Гурская А.В.

№ патента: 2653398

Приоритет заявки: 2016-07-19

Дата публикации: 2018-05-08