федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Способ измерения чистоты поверхности подложек

    Год: 2007
    Авторы: Подлипнов В.В. Колпаков А.И. Казанский Н.Л. Колпаков В.А. Сойфер В.А.
    № патента:
    Приоритет заявки: 2007-03-07
    Дата публикации: