федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Способ измерения чистоты подложек

    Год: 2009
    Авторы: Колпаков А.И. Казанский Н.Л. Колпаков В.А. Сойфер В.А. Подлипнов В.В.
    № патента:
    Приоритет заявки: 2009-03-25
    Дата публикации: