федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Способ изготовления катодной мишени для распыления керамических материалов

    Год: 2014
    Авторы: Буяльский В.И. Барвинок В.А. Богданович В.И. Докукина И.А. Асмолов А.Н. Родионова Е.В.
    № патента: 026366
    Приоритет заявки: 2013-12-27
    Дата публикации: 2017-03-31