федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Способ получения пористого слоя гетероструктуры карбида кремния на подложке кремния

    Год: 2016
    Авторы: Долгополов М.В. Латухина Н.В. Чепурнов В.И. Гурская А.В.
    № патента: 2653398
    Приоритет заявки: 2016-07-19
    Дата публикации: 2018-05-08