федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Устройство бесконтактного контроля электромагнитных параментров тонких пленок, нанесенных на подложку конечной толщины

    Год: 2018
    Авторы: Борминский С.А. Скворцов Б.В. Живоносновская Д.М.
    № патента: 185095
    Приоритет заявки: 2018-07-17
    Дата публикации: 2018-11-21