федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Программа MatrixHarmonicLens для формирования технологического файла BMP формата для последующей записи микроструктуры в слое фоторезиста

    Год: 2022
    Авторы: Скиданов Р.В. Подлипнов В.В. Ханенко Ю.В.
    № патента: 2023616094
    Приоритет заявки: 2023-01-17
    Дата публикации: 2023-03-22