Программа MatrixHarmonicLens для формирования технологического файла BMP формата для последующей записи микроструктуры в слое фоторезиста

Год: 2022

Авторы: Скиданов Р.В. Подлипнов Владимир Владимирович Ханенко Ю.В.

№ патента: 2023616094

Приоритет заявки: 2023-01-17

Дата публикации: 2023-03-22