федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

Способ создания капиллярных структур на поверхности кремниевых подложек с использованием метода лазерной записи

Год: 2023
Авторы: Агафонов А.Н. Тукмаков К.Н. Миланина К.И. Платонов В.И. Андреев Т.А.
№ патента:
Приоритет заявки: 2023-10-27
Дата публикации: