УСТРОЙСТВО ЭКСПРЕСС-КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК

Руководитель работ д.т.н. Волков А. В.

Тип контролируемых подложек - стеклянные фотографические пластины ВРП-50, подложки типа СТ-50, "Поликор" и ряд других.

Основные характеристики:
• контроль органических загрязнений в диапазоне 1 – 10 гр/см;
• контроль шероховатости в диапазоне 5-200 nm;
• толщина контролируемых подложек 0,5-3,0 мм;
• жидкость – дистиллированная вода;
• длительность операции контроля состояния поверхности подложек – не более 2 мин;
• напряжение питания - 220 В;
• габаритные размеры - 320x200х95 мм;
• вес - 4 кг.

Установка включает:
• видеокамеру VS-FAST/CG6;
• дозатор жидкости;
• систему освещения образца;
• персональный компьютер специальной конфигурации.

Получен патент на полезную модель № 54677.


Зависимость времени растекания жидкости от степени чистоты и шероховатости поверхности


Устройство экспресс-контроля качества поверхности подложек

Учебно-научный центр микроэлектроники: корпус 1, ауд. 104, тел (846) 332-56-21, e-mail:volkov@ssau.ru