Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200

Подразделение: НОЦ НТ-94

Производитель: FEI

Место расположения: Корпус 14, ауд .113

Назначение:
Исследование поверхности пластин и сколов с разрешением до 1 нм, проведение электронно-лучевой литографии. Прибор используется для исследования топологии наноматериалов и изучения физических свойств на наноуровне, также приставка электронной литографии позволяет использовать микроскоп для изготовления наноструктур. Исследование топологии микро- и наноструктур, создание наноструктур для нанофотоники и микросистемной техники, наносенсорики.

Основные технические характеристики:
Максимальное разрешение 3.2 нм.