Установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ

Подразделение: НОЦ НТ-94

Производитель: НТ-МДТ, г. Зеленоград

Место расположения: Корпус 14

Назначение:
Установка используется для получения функциональных нанопокрытий из различных материалов с помощью магнетронного распыления материалов мишеней металлов, диэлектриков и полупроводников в плазме постоянного тока в инертном газе. Нанесение многослойных покрытий. Получение нанопокрытий.

Основные технические характеристики:
Точность нанесения покрытий 1 нм.