федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»

    Установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ

    Установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ

    Подразделение: НОЦ НТ-94

    Производитель: НТ-МДТ, г. Зеленоград

    Место расположения: Корпус 14

    Назначение:
    Установка используется для получения функциональных нанопокрытий из различных материалов с помощью магнетронного распыления материалов мишеней металлов, диэлектриков и полупроводников в плазме постоянного тока в инертном газе. Нанесение многослойных покрытий. Получение нанопокрытий.

    Основные технические характеристики:
    Точность нанесения покрытий 1 нм.