Интерферометр белого света WLI-DMR

Подразделение: НОЦ НТ-94

Производитель: Институт Фраунгофера, г. Йена, Германия

Место расположения: Корпус 14

Назначение:
Исследования поверхности пластин с разрешением до 0,2 – 0,3 нм по вертикали и до 0,4 мкм в латеральной плоскости с помощью интерферометрии белого света, измерение шероховатости. Прибор используется для определения топологии поверхности микро и наноструктур без прямого физического контакта с исследуемым образцом.

Основные технические характеристики:
Максимальное разрешение вдоль вертикальной оси 0.2 нм.