Установка ионного напыления типа УРМ3 (Булат-6К)

Подразделение: НИИ-204

Производитель: Россия

Место расположения: Корпус 7, ауд. 111

Назначение:
Вакуумная ионно-плазменная электродуговая установка оснащена электодуговыми испарителями материала катода и предназначена для получения широкого набора многослойных, в том числе наноструктурных композиционных покрытий на основе различных соединений тугоплавких металлов – нитридов, карбидов, боридов, карбонитридов, оксидов. В процессе напыления материал катода с помощью вакуумной дуги переводится в плазменное состояние и в виде плазменных квазинейтральных потоков направляется на поверхность изделия и за счёт протекания плазмохимических гетерогенных реакций образует покрытие

Основные технические характеристики:
Рабочий вакуум 1*10-6 мм рт. ст.;
Максимальная загрузка 10 кг;
Скорость осаждения покрытия на осях вращения до 10 мкм/ч