федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования
«Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева»
Подразделение: НИЛ-35
Производитель: Институт автоматики и электрометрии СО РАН(Россия)
Место расположения: Корпус 1, ауд. 122
Назначение:
Изготовление дифракционных элементов
Основные технические характеристики:
минимальный размер дифракционной структуры 0,6 мкм;
максимальный размер изготавливаемого ДОЭ 210 мм;
максимальное количество ступенек рельефа 256 (фоторезист);
точность выполнения структуры 0,1 мкм;
Технологии записи: Термохимическая – хром, фоторезист.
Мы используем файлы cookies для улучшения работы сайта университета и большего удобства его использования.
Более подробную информацию об использовании файлов cookies можно найти здесь,
наше положение об обработке и защите персональных данных – здесь.
Продолжая пользоваться сайтом, вы подтверждаете, что были проинформированы об использовании файлов cookies сайтом университета и
ознакомлены с нашим положением об обработке и защите персональных данных. Вы можете отключить файлы cookies в настройках Вашего браузера.
