Растровый электронный микроскоп «Supra-25»

Подразделение: НИЛ-35

Производитель: Carl Zeiss, (Германия)

Место расположения: Корпус 1, комната №4/22

Назначение:
Предназначен для проведения измерений линейных размеров топологических элементов, толщин и глубин залегания технологических слоев больших и сверхбольших интегральных схем и параметров микрорельефа поверхности различных объектов в твердой фазе методом растровой электронной микроскопии.

Основные технические характеристики:
Встроенные детекторы: 1.детектор вторичных электронов; - детектор отраженных электронов; - детектор рентгеновского излучения.
2 Разрешающая способность микроскопа: - во вторичных электронах не более 1,5нм. - в отраженных электронах не более,
3 Диапазон измерения линейных размеров, 6нм;
4 Пределы допускаемой основной погрешности измерения линейных размеров: - в диапазоне от 0,05 мкм до 0,2 мкм не более, нм10; - в диапазоне от 0,2 мкм 0,8 мкм не более 40 нм; - в диапазоне от 0,8 мкм до 5000 мкм не более 4%;
5 Диапазон регулировки ускоряющего напряжения 0,5-30 кВ;
6 Относительная нестабильность ускоряющего напряжения за 10 мин не более, 1*10-3 %;
7 Давление в электронной пушке не более, ат: 10-12;
8 Давление в рабочей камере не более, ат 10-9;
9 Напряжение питания переменного тока микроскопа 208+240В;
10 Потребляемая мощность микроскопа не более, 3,3 кВА;
11 Полный средний срок службы микроскопа не менее, 10 лет;
12 Габаритные размеры, не более 1910x985x1600 мм;
13 Масса не более 820 кг;
14 Условия эксплуатации: температура 22±2°С; относительная влажность, не более 60%.