Автоматическая установка магнетронного и термического нанесения «Каролина D12А»

Подразделение: НИЛ-35

Производитель: АО «Эсто-Вакум»(Рос-сия)

Место расположения: Корпус 1, комната №4/22

Назначение:
Вакуумная напылительная установка Caroline D12A предназначена для мелко-и среднесерийного производства и проведения исследовательских работ в области осаждения тонких пленок методом магнетронного и термического распыления.

Основные технические характеристики:
Количество подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт ) 12шт. 100 мм, 24 шт. 60x48; Стартовое давление в рабочей камере 10-3Па; Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу 0,9л/час; Количество подаваемых (неагрессивных) газов до 3 шт.; Количество подаваемых (неагрессивных) газов до 1 шт.