Установка магнетронного Распыления «Оратория-5»

Подразделение: НИЛ-35

Производитель: Россия (Калинен-град)

Место расположения: Корпус 1, комната №122

Назначение:
Устройство магнетронного распыления предназначено для получения многослойных металлических, резистивных и диэлектрических тонких пленок из пяти материалов в одном цикле откачки. Установка магнетронного распыления «О1НИ-7-006» (Оратория-5) предназначен для нанесения пленок легированного кремнием, на кремневые пластины 76, 100мм. Производительность агрегата не менее 150 шт./ч при диаметре пластин 76 мм.

Основные технические характеристики:
Кремневые пластины диаметром 100мм;
Производительность агрегата не менее 150 шт/ч при диаметре 76мм.