Станция лазерной записи «CLWS-2014»

Подразделение: НИЛ-35

Производитель: Институт автоматики и электрометрии СО РАН(Россия)

Место расположения: Корпус 1, комната №125

Назначение:
Даная станция позволяет синтезировать топологию элементов в полярной и прямоугольной системах координат.

Основные технические характеристики:
В полярной системе координат на плоских поверхностях:
- Разрешение по радиусу0,01мкм;
-Разрешение по углу 0,25угл.с;
-Погрешность по радиусу 0,1мкм;
-Угловая погрешность 2угл.с;
-Максимальный диаметр рабочего поля 285мм;
-Фоточувствительный слой - Пленки фоторезиста.