RU EN CN ES

Научно-образовательный центр нанотехнологий (НОЦ НТ-94)

  • Разработка и внедрение методов, методик и технологий для синтеза и исследования наноматериалов, нанесения наноразмерных защитных покрытий и создания оптоэлектронной и механической наноэлементной базы для нужд аэрокосмической промышленности.
  • Получение и исследование наночастиц с заданными свойствами для микро- и наноэлектроники и биохимии.
Оборудование Описание
Растровый электронный микроскоп Quanta 200 с термоэмиссионным катодом и системой микроанализа Предназначен для получения изображения поверхности объекта с предельным разрешением 2.8 нм. Поддерживает режимы работы в низком вакууме и режимах естественной среды.
Аналитико-технологический комплект для доукомплектации нанотехнологического комплекса Нанофаб 100 Сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ 100 состоит из модуля фокусированных ионных пучков, сверхвысоковакуумного модуля сканирующей зондовой микроскопии, камеры загрузки и робота раздатчика.
Модуль фокусированных ионных пучков предназначен для нано и микроструктурирования любых материалов с помощью ионной литографии ионами гелия, позволяет получать разрешение записи до 20 нм.
Сверхвысоковакуумный СЗМ модуль предназначен для изучения топологии поверхности и ее физических свойств методами сканирующей зондовой микроскопии.
Разрешение микроскопа в режиме АСМ до 0.3 нм по вертикали и до 10 нм в латеральной плоскости сканирования, при работе в режиме СТМ с атомарно гладкими поверхностями позволяет получать разрешение до десятых долей ангстрема.
Робот раздатчик позволяет перемещать образцы между камерой загрузки и камерами модуля ФИБ и СЗМ без снятия высокого вакуума.